知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:我们用热阻式蒸镀设备镀氧化硅薄膜,出来的颜色有时候会发生变化是什么原因呀?有时候薄膜是绿色有时候是棕色。
氧化硅的颜色与厚度的关系?
氧化硅(SiO2)薄膜的厚度与其表面颜色之间存在着直接的关系,这是由于薄膜干涉效应引起的。当光线照射到氧化硅层表面时,部分光线会在氧化硅的表面反射,另一部分则会穿透氧化硅层并在底部反射回来。这两部分光波在空气和氧化硅层界面处再次相遇时,会发生干涉,导致增强或相消,从而产生不同的颜色。随着氧化硅层厚度的增加,观察到的颜色会从一种颜色转变到另一种颜色,循环往复。
如何干涉?
当反射的光波相遇时,如果它们的相位差是2π的整数倍,是相长干涉,则颜色会看起来更明亮。如果它们相位差为(2n+1)π,是相消干涉,则某些颜色会减弱。 厚度与颜色的一一对应表?~黄褐300
~蓝800
紫10002750465065008500深蓝14003000490068008800绿18503300520072009300黄20003700560075009600橙22504000600079009900红250043506250820010200 欢迎加入我的半导体制造知识社区,答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升个人能力,介绍如下:》